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RTP快速退火炉
RTP快速退火炉图片
品牌:嘉仪通
产地类别:国产干燥设备


产品名称
半导体快速退火炉
产品介绍

RTP快速退火炉采用红外辐射加热技术,可实现大尺寸样品(4英寸样品)快速升温和降温,同时搭配超高精度温度控制系统,可达到好的温场均匀性,对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等研究和生产工作起重要作用。


RTP快速退火炉产品技术参数

型号RTP-3-01系列
最高温度1200℃
最大升温速率50℃/s
温度均匀性≦1%设定温度
温度控制选用工业级温控器,控温精度±0.1℃
温度传感器标准K型热电偶
最大降温速率

1200℃→400℃,200℃/min

400℃→100℃,20℃/min

(自然冷却)

最大样品尺寸W20 x L20 x T2 (mm)
主机尺寸W420X L320X H220 (mm)
主机重量20.5kg
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武汉嘉仪通科技有限公司
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联系人: 张先生
地址: 武汉市东湖开发区高新大道999号未来科技城C4栋11层
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