RTP快速退火炉采用红外辐射加热技术,可实现大尺寸样品(4英寸样品)快速升温和降温,同时搭配超高精度温度控制系统,可达到好的温场均匀性,对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等研究和生产工作起重要作用。
RTP快速退火炉产品技术参数
1200℃→400℃,200℃/min
400℃→100℃,20℃/min
(自然冷却)