全新推出的PA80MET/PA120MET晶圆检查/FPD显微镜采用灵活的模块化设计、不仅确保**的光学性能,还具有安全稳定的镜架结构,使之低重心、高刚性、高稳定性,极大的提高了显微镜的抗振能力,使PA80MET/PA120MET显微镜可广泛的应用于工业检测及大型试样观察,是晶圆行业、FPD行业的理想检测工具。
| PA80MET | PA120MET |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 (CCIS®) |
总放大倍数 | 50X-500X(选购100X,最高放大倍率1000X) |
目镜 | UC-WF10X/25,屈光度可调+/-5(标配)(选购15X/20X目镜) |
物镜 | Plan S-APO平场半复消色差金相物镜BF/BD5X-50X(100X选配) LPlan S-APO长距平场半复消色差金相物镜(选配BF/BD 20X-100X) |
观察筒 | 正像三目观察筒(FN 25),倾斜角20°,三筒光路2档选择:(目视:相机-100、0,0、100) |
双目镜筒瞳距 | 50-75mm |
样品最大厚度 | 29.5mm |
物镜转换器 | 五孔转换器带DIC插槽(BF、BF/BD可选) ,电动五孔转换器带DIC插槽(选配)(BF、BF/BD可选) |
粗微调焦装置 | 行程范围:29.5mm,粗、微调同轴调焦 ,粗调:17.7mm/转,微调:0.1mm/转 上限位,松紧调节环 |
机械移动载物台 | 8"载物台 尺寸325(W) X 325(D)mm 行程200(X)X 200(Y)mm | 12"载物台 尺寸520(W) X 400(D)mm 行程300(X)X 300(Y)mm |
照明 | 柯勒照明系统12V/100W 长寿命卤素灯 |
扩展功能 | 偏光观察、DIC观察、电动平台、透反射机型 |
其它 | 可配Moticam数码成像系统和软件 |