Setra 730是一款高精度电容式真空计(亦称电容薄膜式压力计 (CDG))，适用于在光伏、半导体及工业市场中测量对过程控 制至关重要的低真空压力范围。730使用全Inconel®接液材料， 可耐受腐蚀性工艺介质。完全符合RoHS规范的高频电子设计， 具备极低噪声的同时保持快速响应时间，满足当今关键控制应 用需求。相比于竞品型号，其外部噪声抑制、快速预热、不受 环境影响及长期稳定性等特点更为突出。

适合苛刻应用的高性能产品

730电容式真空计使用坚固的单电极可变电容敏感元件，具备 出色的抗过压能力和优异的长期稳定性。它的读数精度、低迟 滞及高分辨率保证了宽动态范围，使得730成为关键制造过充 中测量及控制的理想选择。

Inconel® 设计保证通用性

730的所有接液部件均采用Inconel®材料，因此对半导体及工业 真空过程中的腐蚀性介质具有极高的耐受性。该材料结合全焊 接结构，保证了730在苛刻应用中的长期使用寿命

直接压力测量

与其他真空测量技术不同，730电容式真空计直接测量压力， 即单位面积上的力的变化。其0-5或0-10 VDC模拟输出信号正比 于所测量的压力，不受工艺气体成分的影响。

特性

• 耐化学品的Inconel®设计

• 精密真空测量

• 行业标准接头

• 高精度:标准±0.5%读数，可选±0.25%读数

• 张紧的膜片保证优异的性能

• 工作温度补偿范围宽

• 电路噪声低、响应快

• 不易受环境条件变化影响 • 出色的抗过压设计

• 符合 CE 和 RoHS 规范

应用

• 半导体行业

• PECVD/ALD工艺设备

• 等离子体刻蚀工艺设备 • 石化行业

• 等离子体灭菌器

• 真空包装