PhotoKleen™ EZD-3X过滤器设计用于占空用空间少的小型分配系统。PhotoKleen™ EZD-3XL过滤器的过滤面积是PhotoKleen™ EZD-3X过滤器的几乎两倍，可在过滤期间降低压降。因此，过滤期间压降减小，或在相同压降下实现更精细的过滤效果。可选两种滤材类型：不对称尼龙6,6和HDPE。天然亲水性尼龙6,6膜能够自发润湿，结果显示其极性可减少图案化晶圆的缺陷。XP选项可用于高级光刻工艺。 特性和优势 • 相同尺寸滤囊产生2倍的过滤面积（参见PhotoKleen™ EZD-3过滤器） • 易更换式过滤总成 • 可选两种膜材料 • 滞留体积小，顶进/顶出流向，侧面导管用于层流灌充 • 压降较低，可提高流体粘度 • 延长过滤器更换间隔时间，缩短工具故障时间 • 优化用于目标应用的滤材选择 • XP处理可大程度减少将有机可提取物，从而实现快速启动并减少化学废物 • XP选项可保证低有机物、金属和颗粒物在多数高级工艺中的清洁度 PhotoKleen™ EZD-3X过滤器设计用于配合装入所有PhotoKleen™ EZD-3头部双联管路组件