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喷碳仪FSEM C200
喷碳仪FSEM C200图片
型号:FSEM C200
仪器种类:国产通用分析仪器


产品介绍

FSEM C200 喷碳仪

FSEM系列喷碳仪适用于常规SEM和TEM分析。该设备是全自动系统,从而使操作变得极为简便。秉承人体工学设计理念的同时,紧凑的外观设计和更小的桌面占用面积为您大大节约了实验室空间。FSEM系列喷碳仪为全闭环真空设计,配有全量程皮拉尼真空计等多个传感器实时监控运行状态,保证仪器安全稳定运行。采用高性能旋叶真空泵,快速获得<1Pa的真空环境,高精度的脉冲电源采用恒压控制,镀膜更纯,膜厚更准,结果重复性更好。

产品特点

  • 设计美观,操作简单,界面友好、一键镀膜

  • 可直接放置12个标准钉型样品台,无需工作人员介入,节省人力和时间

  • 采用ARM架构,全自动控制,控制精度高,操作简单

  • 低电压,稳定真空环境,可适配多种规格碳材料0.8、1.2、2.4及碳棒等

  • 镀膜颗粒可达纳米级别,溅射颗粒<5nm制备薄膜致密,适合高分辨SEM使用

  • 采用低压脉冲技术,利用W型平面热蒸发减少温度的变化,适用于温度敏感样品

  • 配有多个传感器实时监控运行状态,保证仪器使用安全

  • 长期运行,稳定可靠,无需特殊维护

  • 具备开关机数据存储记忆,修复长期应用偏差

  • 仪器可全自动控制,更方便用户实现各种自动化控制操作

  • 软件遵循GMP规范,方便实现用户管理,使用记录等功能

技术参数

设备型号

FSEM C200

蒸发类型

脉冲W型平面热蒸发

蒸发源

高纯碳绳0.8、1.2、2.4(mm)、高纯碳棒可选,可检测通断状态

控制模式

5寸触摸屏全自动程序控制

真空系统

机械旋叶泵,极限真空<1Pa真空抽速1L/s

真空测量

全量程皮拉尼数字真空计

工作真空

2-8Pa,真空精度可达0.1Pa

样品台

可升降,可放置12个标准钉型台,直径可达65mm

蒸发电源

恒压脉冲DC蒸发电源0-10V,Max80A

脉冲频率

100ms-1s,具备预热除气功能

溅射时间

≤600s,控制精度1s

真空腔室

φ130×100mm

供电要求

200-240VAC 50Hz,功率1500W

外形尺寸

420×260×280mm

配置清单

序号

名称

规格

数量

1.

喷碳仪主机

FSEM C200

1台

2.

高纯碳绳

φ0.8*1m

1个

3.

高纯碳绳

φ1.3*1m

1个

4.

真空管路

KF16-1.2m

1根

5.

机械真空泵

VRD-4

1台

6.

合格证、保修卡、说明书、装箱单

/

1套

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