测量范围：X轴最大（mm）

Y轴最大（mm

Z轴最大（mm）

QV ACCEL808

QV ACCEL1010

名称

QV ACCEL 808

QV ACCEL 1010

标准机型

QV-A808P1L-D

QV-A1010P1L-D

测量范围 [mm]

800×800×150

1000×1000×150

观察装置※1

程控电动转塔 1X - 2X - 6X

照明装置

透射照明

白色LED

垂直反射照明

白色LED

程控环形照明

白色LED

光栅尺分辨力 [µm]

0.1

影像测量精[µm]※2

E1X,E1Y

（1.5+3L/1000）

E1Z

（1.5+4L/1000）

E2XY

（2.5+4L/1000）

重复精度[µm]※2

短尺寸

XY 轴

3σ ≤0.2

长尺寸

3σ ≤0.7