日本三丰轮廓仪CV-3200、CV-4500系列
完善的高精度轮廓测量仪
• CV-3200/4500系列轮廓仪是在Z1 轴(检出器) 上配有高精度弧形光栅尺和新型测臂的轮廓测量仪。高精度弧形光栅尺能直接读取测针的弧形轨迹，以实现高精度和高分辨力。
• 与传统型号相比，新测臂使Z1轴测量范围增大了10mm 同时减少了工件的干扰。测臂安装部采用了磁性链接件，单此接触就能完成测臂的装卸，提高了易用性。
三丰专为CV-4500系列轮廓仪增加了以下两大特性：
(1) 装配双面测针，实现垂直方向(上/下) 连续测量，所获取的数据实现简单分析以往难以测量的内螺纹有效直径。
(2) 测力可在FORMTRACEPAK软件中设置。轮廓仪无需调整配重位置。
CV-3000系列 技术参数
轮廓仪货号 | CV-3200S4 | CV-3200H4 | CV-3200W4 | CV-3200S8 | CV-3200H8 | CV-3200W8 |
CV-4500S4 | CV-4500H4 | CV-4500W4 | CV-4500S8 | CV-4500H8 | CV-4500W8 |
测量 范围 | X 轴 | 100mm | 200mm |
Z1 轴(检出器) | 60mm (水平位置±30mm) |
Z2 轴 (立柱) 移动范围 | 300mm | 500mm | 300mm | 500mm |
Z1 轴 (检出器) | 光栅尺类型 | 弧形 |
分辨力 | CV-3200 系列: 0.04µm, CV-4500 系列: 0.02µm |
测针上/ 下运作 | 弧形移动 |
测量方向 | 向前/ 向后 |
测针方向 | CV-3200 系列: 垂直方向 (向上/ 向下单独测量) CV-4500 系列: 垂直方向 (向上/ 向下根据配重调整) |
测力 | CV-3200 系列: 30mN (上下可连续测量) CV-4500 系列: 10, 20, 30, 40, 50mN (根据软件转换) |
跟踪角度 | 向上: 77º, 向下: 83º(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针*1) |
驱动部 | 长度基准 | X 轴 | 激光全息光栅尺 |
Z2 轴 (立柱) | ABS 光栅尺 |
分辨力 | X 轴 | 0.05 µm |
Z2 轴 (立柱) | 1 µm |
驱动速度 | X 轴 | 0 - 80mm/s 外加手动 |
Z2 轴 (立柱) | 0 - 30mm/s 外加手动 |
测量速度 | X 轴 | 0.02 - 5mm/s |
直线度*2 | X 轴 | 0.8µm/100mm | 2µm/200mm |
倾角范围 | X 轴 | ±45º |
精度 (20ºC) | CV-3200 系列 | X 轴 | ±(0.8+0.01L)µm L = 驱动长度 (mm) 宽范围: 1.8µm/100mm 窄范围: 1.05µm/25mm | ±(0.8+0.02L)µm L = 驱动长度 (mm) 宽范围: 4.8µm/200mm 窄范围: 1.3µm/25mm |
Z1 轴(检出器) | ±(1.6+|2H|/100)µm H = 水平位置上的测量高度 (mm) |
CV-4500 系列 | X 轴 | ±(0.8+0.01L)µm L = 驱动长度 (mm) 宽范围: 1.8µm/100mm 窄范围: 1.05µm/25mm | ±(0.8+0.02L)µm L = 驱动长度 (mm) 宽范围: 4.8µm/200mm 窄范围: 1.3µm/25mm |
Z1 轴(检出器) | ±(0.8+|2H|/100)µm H = 水平位置上的测量高度 (mm) |
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