产品参数 ●内腔采用易清洁、耐腐蚀超高分子材料(HDPE) ●旋涂程序:最多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒 ●转动速度:0-10,000rpm(更高速可选) ●旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载) ●马达旋涂转速稳定性能误差:< ±1rpm(AC200-SE); <±0.1rpm(AC200-PE) ●转速调节精度及重复性:1rpm(AC200-SE); 0.1rpm(AC200-PE) ●AC200-PE另带真空数字显示、开关压力调节和电子水平显示功能 ●工艺时间设定:0-3,000sec/step,时间设置精度:0.1sec ●支持wafer尺寸:碎片至200mm(8”圆晶) ●旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量) 产品外型尺寸: ●480mm(D) * 360mm(W) * 350mm(H)
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