您好,欢迎来到仪器设备网! [登录] [免费注册]
仪器设备网
位置:首页 > 仪器 > 旋涂薄膜制备
AC300-SE大功率程控伺服匀胶机
AC300-SE大功率程控伺服匀胶机图片
型号:AC300-SE
品牌:LEBO(雷博)
产地:江阴
仪器类型:匀胶机


产品介绍

产品性能介绍:

◆ 最新的内部紧凑设计,缩小设备尺寸

◆7"触屏控制面板操作系统

◆Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺

◆标准配置转速5000rpm,并可根据用户需要进行定制

◆采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部

◆机身选用耐腐蚀不锈钢,内腔采用HDPE材料

◆排风和抽气系统位计于载片台之底部,以利于排风效率和匀胶均一性

◆透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发

产品参数说明:

● 旋涂程序:最多存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒

●转动速度:0-5,000rpm(更高速可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm

●旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s

●马达旋涂转速稳定性能误差: < ±1rpm

●转速调节精度和重复性: 1rpm

●工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec

●支持wafer尺寸25px-300mm(12“圆晶)

●旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(去除边缘3毫米区域测量)

产品外型尺寸:613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)



用户评论
产品评分
目前评分共0人
产品质量
售后服务
易用性
性价比
产品评论
已有0条评论
可以输入500字 
暂无评论!
江苏雷博科学仪器有限公司
电话: 点击&查看
联系人: 销售
地址: 江阴市金山路201号创智产业园
同品牌产品:
相关产品:
猜您感兴趣
换一批
ZR-1080型透气包装材料微生物屏障分等试验装置
SLQ-202粗纤维测定仪
didoEASYE++R型多功能X射诊断剂量仪
ST-1511全自动开口闪点测定仪
EDT-08Lx型8杯溶出度仪(手动型)
来访登记
关闭
请留下您的联系方式,登记完成即可查看电话与供应商联系,或等候供应商联系您。
留言类型:
     
*姓名:
*电话:
*单位:
Email:
*留言内容:
请说明需求数量,型号规格以及纯度含量等要求。
*验证码: