炉体结构

炉体由4个小管式炉组成，采用氧化铝炉管，尺寸为25 OD x 22 ID x 460 Lmm

每个加热模块都由独立的温控系统控制，最高温度可达1700℃

快速密封法兰，安装有机械真空压力表，进气端安装有浮子流量计，样品可在真空或气氛保护环境下进行热处理

可同时放入4个样品，在不同温度下进行热处理

加热元件

硅钼棒

工作温度&恒温区

连续工作温度1600℃

最高工作温度 1700℃(< 1 hrs)

恒温区:  30mm(±1℃)，60mm(±5℃)

炉管

高纯氧化铝炉管：Φ25X L 460 mm，4根

4个浮子流量计

快速连接法兰，KF25真空接口

真空度：10^-5 torr（采用分子泵）

有一真空泵接口（KF25）,可在本公司购买各种真空泵

温度控制

用触摸屏设置温度程序，带有超温和断偶保护

4个温区分别由4个独立的温控系统控制

4根B型热电偶

可用电脑设置和显示温度程序

最高加热速率

10℃/ min

控温精度

±1℃

淬火（可选）

此管式炉可升级为立式淬火炉（加上旋转机构和淬火剂罐）

功率，工作电压

6 KW, 208 - 240V单相,  50/60Hz

质量认证

所有元器件（＞24V）都通过UL / MET / CSA / CE 认证，客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CSA认证。

产品尺寸

1000 L x 650 W x 640  H mm

质保

一年质保期，终生维护（不包含炉管，密封圈和加热元件）

注意

此管式炉，只可在真空或常压状态使用，炉管内的相对气压不可大于0.02MPa进气流量<200 sccm ( 200mlmin)
向炉管内通气的气瓶上必须安装双级减压阀（可在本公司购买）
可选购本公司的供气系统，可用于进行CVD实验