EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理，结合先进的频率测量技术，进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中，用于对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。EQ-TM106膜厚监测仪根据制备薄膜的实时速率可以输出PWM（脉冲宽度调制）模拟量，作为膜厚传感器使用，与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制，从而检测所制备薄膜的厚度。EQ-TM106膜厚监测仪体积小巧可节省实验室空间，原理简单，操作方便，尤其适合于实验室中薄膜制备过程的使用。
产品名称 | EQ-TM106膜厚监测仪 |
产品型号 | EQ-TM106 |
主要特点 | 1、本机可与计算机连接。 2、显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点，可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM控制输出的百分比等工作状态。 3、通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置，并可将所测相关数据写入Excel文件。 4、具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。 |
技术参数 | EQ-TM106-1监测组件 1、电源：DC 5V（±10%），最大电流400mA 2、频率分辨率：±0.03Hz 3、膜厚分辨率：0.0136Å（铝） 4、膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，材料应力，温度和密度 5、测量速度：100ms-1s/次，可设置 6、测量范围：500000Å（铝） 7、标准传感器晶体：6MHz 8、计算机接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8，停止位：1，校验：无） 9、模拟输出：8比特分辨率，PWM脉宽调制输出（集电极开路或内部5V输出） 10、工作环境：温度0-50℃，湿度5%-85%RH，不得有冷凝水珠 11、外形尺寸：90mm×50mm×18mm |
EQ-TM106-2显示仪 1、输入电源：AC 220V±10% 2、输出电源：DC 5V 3A 3、显示器：12×2数码管与LED 4、通讯端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8位，停止位：1位，奇偶校验：无） 5、外形尺寸：182mm×65mm×160mm |
EQ-TM106-3探头 1、适用晶片频率：6MHz 2、适用晶片尺寸：Ø14mm 3、安装法兰：CF35 4、冷却水管：Ø3mm，长度300mm、500mm、1000mm 5、冷却水压：<0.3MPa 6、气动挡板路管：Ø3mm 7、压缩空气压力：<0.8MPa，>0.5MPa 8、烘烤温度：通水状态<200℃，不通水状态法兰<100℃ 9、电气接口：BCN插座 |
标准配件 | 1 | EQ-TM106-1监测组件 | 1个 |
2 | EQ-TM106-2显示仪 | 1台 |
3 | EQ-TM106-3探头 | 1个 |
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