产品型号

SE-VM光谱椭偏仪

主要特点

1、采用高性能进口复合光源，光谱覆盖可见到近红外范围 (380-1000nm)

2、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集

3、支持系列配置灵活，可根据不同应用场景支持多功能模块化定制

4、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料

技术参数

1、自动化程度：手动变角

2、应用定位：通用型

3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱

4、分析光谱380-1000nm(可扩至210-1650nm)

5、单次测量时间：0.5-5s

6、重复性測量精度：0.01nm

7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200μm

8、入射角调节方式：手动变角

9、入射角范围：55-75°(5°步进),90°

10、找焦方式：手动找焦

11、Mapping行程：不支持

12、支持样件尺寸：最大至180mm

可选配件

1

温控台

2

Mapping扩展模块

3

真空泵

4

透射吸附组件