全自动椭偏检测机台
 产品介绍
全自动椭偏检测机台作为一种小型椭偏集成机台，通过整体高度模块化，电、气路集成技术，实现不同椭偏测量模块在线/离线式整体椭偏测量解决方案。全自动椭偏检测机台广泛应用于科学研究中各种各向同性，异性薄膜材料的膜厚、光学常数以及一维、二维纳米光栅的结构表征；工业领域新型光电器件行业所涉及的薄膜（配向膜、光刻胶、ITO、发光薄膜、封装薄膜）全片离线化快速扫描测量。
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