SKCC-ZZB-X高真空磁控溅射永磁靶头（自旋转靶头）适用靶材种类较广，如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形永磁体在靶头上，以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。
产品型号
SKCC-ZZB-X（高真空磁控溅射自旋转靶头）
产品规格
2寸，SKCC-ZZB-2
3寸，SKCC-ZZB-3
4寸，SKCC-ZZB-4
5寸，SKCC-ZZB-5
6寸，SKCC-ZZB-6
7寸，SKCC-ZZB-7
主要特点
1、转靶带挡板（可电动控制，可手动控制）；
2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布；
3、转靶转速5～60转/分可调；
4、标准的HN型接头，可与DC和RF电源相匹配。
5、安装采用标准真空接头，便于操作。
6、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度。
配套电源
1、直流DC；2、射频RF
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