产品型号

小型超高真空插板阀

主要用途

此系列阀门分为手动、气动两种驱动方式，在结构设计上合理，在外形上美观，并具有动作平稳、体积小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点，能广泛应用于超高真空设备中

产品特点

轴封为波纹管密封，无润滑剂设计；

阀体材料为不锈钢，整体刚性好，体积小，外形美观；

采用双导轨轴承滚轮机构，运动平稳；阀板内整体式结构，支撑力均匀。

主要参数

适用范围：

1×10^-6Pa～1.2×10⁵Pa
打开时插板上的压差：

≤3×10³Pa任意方向

阀体和阀座漏率：

1.3×10^-7Pa·L·s^-1

建议**维修前循环次数：

10，000次

阀体烘烤温度：

打开时≤200℃；关闭时≤150℃

安装位置：

任意

电源：

-气动驱动：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W

（除了上述规格外，特殊规格可定做）

压缩空气（只适用于气动）

0.4～0.7MPa

阀门开启或关闭时间

-气动驱动： ≤3s；

阀门位置指示

-手动驱动：带有启闭位置指示（机械式）

-气动驱动：带有启闭位置指示开关（磁性开关）

规格尺寸