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原料、中间体、气体
>
刻蚀液
钛-钨蚀刻剂TiW-30
品牌:
Transene
包装:
4L
产地:
美国
索取资料及报价
产品名称
TI-TUNGSTEN ETCHANT TiW-30
产品介绍
钛—钨TiW—30
说明
钛—钨
TiW—30是微电子产品中钛—钨粘结层的选择蚀刻剂。TiW—30能有效地蚀刻沉积在铜、氮化硅和氧化硅上的钛—钨薄膜。TiW—30蚀刻的线路轮廓清晰、蚀刻速率可控。与阴、阳性光刻胶具有广泛的匹配性。
性质
外观
水白色
蚀刻速率,
25℃
10~
15
Å/秒
操作温度
25~
40℃
冲洗
去离子水
贮存
0℃
有效期
在
25℃,2个月
在
0℃,6个月
应用
钛—钨
TiW—30是专门设计用来去除二氧化硅和氮化硅等基板上钛—钨合金粘结层的使用方便的溶液。TiW—30不浸蚀铜膜。将此蚀刻剂加热到40℃会加快对厚膜的蚀刻速率。
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烟台科瑞尔化学科技有限公司
电话:
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0535-6350522 15201368992
联系人: 杨先生
地址: 山东省烟台市芝罘区海港路29号1506室
参观公司展位
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