制冷方式

液氦/液氮制冷

闭循环制冷机

腔体材质

无磁不锈钢或者铝合金

真空度

真空上等高达10^-8Pa

真空腔观察窗尺寸

2inch（可选）

控温范围

4.2K-450K

5K-450K

控温分辨率

0.001K控温仪相关

温度稳定性

0.1K控温仪相关

降温时间

40min

150min内，视制冷机功率定

温度传感器

硅二极管、PT100（3个，样品台和探针臂和防辐射屏上各一个）

加热电源

LVDC 低压直流

样品台材质

镀金无氧铜

样品台尺寸

直径20-50mm，可选100mm

样品台平整度

≤7μm

样品台固定方式

固定的样品台（可升级随位移台移动）

样品台振动级别

≤50纳米

≤1μm（三级减震）

探针臂数量

2个、4个、6个、8个可选

探针臂机械精度

±12.5mm(可升级±25mm),精度1μm（可选）

探针种类

钨、铍铜、微波探针（可选高达67GHz的GSG探针）

探针调节

真空波纹管外部调节，手动控制

放大倍数

16~100X/20~4000X

显微镜行程

X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm

电力需求

220V 50-60Hz