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微电子和半导体行业专用 >> 钙钛矿薄膜制备
立式超声喷涂仪
立式超声喷涂仪图片
型号: CSPT-L
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型号:CSPT-L
产品介绍

         本仪器是专为燃料电池膜电极制备而开发的,适用于企业研究和中试生产的喷涂设备。该设备采用高品质超声喷头,可进行均匀高效的薄膜喷涂及喷雾热解,膜厚薄可达几十纳米。

-技术特点-

· 采用高品质超声喷头,浆料雾化均匀,利用率高;

· 拥有激光定位功能,准确定位喷涂位置;

· 注射泵进行中设有防沉降装置,可有效防止浆料沉降。

-性能参数-

模块名称项目备注
喷涂轨迹控制运动轴3轴X,Y,Z
喷涂最大面积600×600mm有效面积(可定制)
喷涂尺寸精度<0.1mm
运动最大速度90000mm/min可实时调整
控制软件LC-CCM触摸屏在线式编辑

超声喷雾系统
谐振频率45kHz
喷嘴材质钛合金芯层耐腐蚀
喷嘴雾化粒径40μm以纯水为例,具体与喷涂浆料粘度相关
喷嘴雾化半径5~20mm具体与喷嘴高度有关
进料系统管路内径1mm其他内径可选
管路材质PTFE高透明,方便观察浆料
接头材质316 L不锈钢耐腐蚀
流量设定范围0.1~10ml/min流速可调
流量设定精度≤±1.5%
zui大喷涂量(每次)50ml注射泵可选100ml
真空加热吸台加热控温范围室温~120℃有温度保护,防止过度升温
真空吸盘材质铝合金
真空吸盘尺寸670*670mm可定制
水平调节功能可手动调节
真空泵供电电源220V,50Hz需外接电源
额定功率160W
抽气速度20L/min
极限压力≥0.08MPa相当于200mbar
噪音<50DB
定位系统中心点定位激光十字对位辅助铺膜
磁力搅拌系统搅拌旋转定制标配
清洗喷头及管路自动清洗程序控制自动清洗管路及喷头
储料桶储料搅拌定制选配



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