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真空下降炉
真空下降炉图片
型号: 晶体生长
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型号:晶体生长
设备产地:国产设备
产品介绍

产品特点 :

    1、升降系统采用伺服电机、高减速比行星减速机和精密线性模组驱动,可以实现超低速运行和大范围的无极调速,此系统具有很高的平稳性、可靠性;电机声音及振动极小、转速稳定且可监控。

    2、加热系统采用欧陆表和高精度直流电源(精度为±1‰)控温,控温精度最高可达±0.1℃;加热元件和保温体系有金属和石墨两种选择,适合不同需求的晶体生长环境。

    3、本系列设备具有断水、漏气、限位等报警及相应处理,使用安全,不须人实时监控,可长时间连续使用。

    4、本系列设备可根据用户需求设计炉膛大小和内部分布尺寸,并可进行高、中、低档的灵活配置、即可采用触摸屏全自动控制也可采用全手动和控温表程序控温生长;本设备还可配置独立的水冷循环系统,适合学校和研究机构使用。

主要用途 :

    晶体生长,可在真空、常压、高压、保护性气氛状态下用于非金属、金属、合金等物质的晶体生长。

产品技术参数 :

升降速度1-200mm/天;5-1000mm/天;50-10000mm/天规格尺寸2英寸、3英寸、4英寸、非标
最高温度1300℃、1700℃、1900℃、2200℃控温精度±2℃、±1℃、±0.1℃
压升率0.33Pa/h、0.67Pa/h、1.3Pa/h、2Pa/h压力
极限真空6.7×10-3Pa   1×10-3Pa 5×10-4Pa 2×10-4Pa


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