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SFJ-231D型半导体专用氦质谱检漏仪
SFJ-231D型半导体专用氦质谱检漏仪图片
型号: SFJ-231D型
品牌: 皖仪
产地: 合肥
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型号:SFJ-231D型
品牌:皖仪
产地:合肥
产品介绍

性能特点:

·操作简单,通常只需两键(开始和停止)

·德国多口分子泵

·自动抽空时间和压力可设定

·双灯丝自动切换

·自动调零 自动校准

·自动量程切换

·铱带离子源,使用寿命更长

技术参数:

 最小可检漏率(真空模式) 5×10-13 Pa·m3/s
 最小可检漏率(吸枪模式) 1×10-8 Pa·m3/s
 检漏口压力 Gross:1500Pa, Fine:200pa, Ultra:40pa
 粗抽能力 10 m3 /h
 氦气抽速(Gross模式) 8 L/s
 氦气抽速(Fine模式) 7 L/s
 氦气抽速(Ultra模式) 2.5 L/s
 检漏口规格 DN 25 ISO-KF
 启动时间 ≤3min
 接口 RS-232/485 USB×2
 输入/输出接口 Digital and Analog I/O, Relays
 尺寸 645 × 678 × 965 mm
 重量 75kg
 电压 220V±10%, 50/60 Hz
 最大功率 1000 W
 语言 Chinese, English
 温度 10–40 ℃
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