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FT-3110自动扫描四探针测试仪
FT-3110自动扫描四探针测试仪图片
型号: FT-3110
品牌: ROOKO瑞柯仪器
包装: 20kg
交货期: 两周
产地: 浙江宁波
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型号:FT-3110
品牌:ROOKO瑞柯仪器
交货期:两周
产地:浙江宁波
产品别名:四点探针测试仪
产品介绍

FT-3110系列全自动四探针测试仪

.功能描述

四点探针法,全自动化运行测量系统,PC软件采集和数据处理;参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻;可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择;可显示:方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图、温湿度值、提供标准校准电阻件.  报表输出数据统计分析.

.适用范围

晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏.

规格型号

FT-3110A

FT-3110B(可扩展)

1.电阻

10^-5~2×10^5Ω

10^-6~2×10^5Ω

2.方块电阻

10^-5~2×10^5Ω/□

10^-6~2×10^5Ω/□

3.电阻率

10^-6~2×10^6Ω-cm

10-7~2×106Ω-cm

4.测试电流

0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA,

10mA,100mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

5.电流精度

±0.1%

6.电阻精度

≤0.3%

7.PC软件操作

PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、报表生成

8.压力范围(选购)

探针压力可调范围:软件控制,100-500g可调

9.探

针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%

镀金或钨钢材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制

10. 可测晶片尺寸

载台选购

选购:载台晶圆尺寸:2-12寸6寸150mm,12寸300mm

其他规格可定制

11.分析模式

单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试

12.重复性

单点重复性:重复性0.5

13.防护功能

具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报

14.电源

输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<600W

三. 参数资料

 

   

 

标准配置外订购明细:

序号

型号

品名

单位

数量

备注

1

3310-CSX

测试线

1


2

09A

标准电阻

1-5

选购规格和数量

3

3310-YPT-2

晶圆样品台

1

2寸;4寸;6寸;12寸选购

4

3310-06B

四探针探头

1

直线型

5

340-TTZ

镀金弹簧铜针4根

1

4根为一组

6

340-WTZ

弹簧钨针4根

1

4根为一组

7

3310-RJ

分析软件

1


8

PC

电脑+打印机

1

依据客户要求配置

9

3310-JL

检测技术服务

1

计量证书1份



延保服务  

1-3


 

 


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