产品用途：探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
该探针台的承载台为60＊60不锈钢台面，台面最高可升温到最高400℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为x/y/z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中x方向调节范围：0--30mm; y方向调节范围：0—20mm；z方向调节范围：0—20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需要检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架x/y/z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。
真空探针台的技术参数：
真空腔体 |
腔体材质 | 304不锈钢 |
上盖开启 | 铰链侧开 |
加热台材质 | 304不锈钢 |
内腔体尺寸 | φ160x90mm |
观察窗尺寸 | Φ70mm |
加热台尺寸 | φ60mm |
观察窗热台间距 | 75mm |
加热台温度 | ﹣196~350℃ |
加热台温控误差 | ±1℃ |
真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允许正压 | ≤0.1MPa |
真空抽气口 | KF25真空法兰 |
气体进气口 | 3mm-6mm卡套接头 |
电信号接头 | SMA转BNC X 4 |
电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
探针数量 | 4探针 |
探针材质 | 钨针 |
探针尖 | 10μm |
探针移动平台 |
X轴移动行程 | 30mm ±15mm |
X轴控制精度 | ≤0.01mm |
Y轴移动行程 | 13mm ±12.5mm |
Y轴控制精度 | ≤0.01mm |
Z轴移动行程 | 13mm ±12.5mm |
Z轴控制精度 | ≤0.01mm |
电子显微镜 |
显微镜类别 | 物镜 |
物镜倍数 | 0.7-4.5倍 |
工作间距 | 90mm |
相机 | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
图像接口 | VGA |
LED可调光源 | 有 |
显示屏 | 8寸 |
放大倍数 | 19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
