普瑞 GC‑9280 八氟环戊烯气相色谱分析仪

本仪器为八氟环戊烯（C₅F₈）电子特气专用氦离子化气相色谱分析仪，基于普瑞 GC‑9280 气相色谱平台开发，配套专用阀系统、预切割色谱柱与 PDHID 氦离子化检测器，利用中心切割反吹技术规避高浓度八氟环戊烯基体过载干扰，可一次性检测样品中无机杂质与氟碳类杂质，检出限可达 ppb 级别，满足 T/DLSHXH 013‑2024 电子气体八氟环戊烯检测要求。系统全气路做内壁抛光钝化处理，配置吹扫型无死体积气动隔膜阀，杜绝空气渗入；搭载 LAN 网络化工作站，支持序列自动运行、仪器反控，可 24 小时连续作业，广泛应用于半导体电子特气生产企业、质检机构、科研实验室。

普瑞 GC‑9280 八氟环戊烯气相色谱分析仪

GC-9280型氦离子化气相色谱仪分析系统，专为含氟电子气体杂质检测设计，配备脉冲氦离子检测器，符合GB/T 28726-2012和JJG700-2016标准，可检测多种气体杂质，检测限低至ppb级。该系统具备完备的柱温箱和数据处理系统，并提供在线诊断和早期维护预警功能，适用于气体中微量杂质的分析。

1.仪器特点：

• Ø气体行业专业色谱技术成套解决方案

• Ø采用VICI进口带He吹扫保护功能的高性能切换阀控制气路

• Ø具备气路故障自动保护、自动点火/熄火自动重燃、一键启动功能；

• Ø采用10/100M自适应以太网通信接口，内置IP协议栈，支持远程访问与控制。

• Ø分析流程全部采用Valco公司惰性化处理管路与专用镀金接头

• Ø系统具备多阀多柱的中心切割与反吹技术，由多个原装进样阀和多根VCR色谱柱联合组成。

• Ø中心切割阀系统采用原装高性能切换阀、原装EP级高纯气体惰性化处理管路，自动进样、自动切割；阀系统和柱系统配备密闭和载气快速放空功能。

• Ø色谱柱系统连接接头VCR密封接头，不仅方便连接，而且具有更好的密封性和无泄漏性，真实的保证PPb级别的检出限。

• Ø多柱箱的应用，使色谱分析柱可以单独控温，且可增加冷阱，得到更好的分离度。

• Ø宽量程的PDHID放大电路采用对数放大器，具有更宽的线性检测范围，分解产物检测指标能够检测至μg/g（ppb）级。

• Ø大容量的安装位置可同时安装4个进样口，4个检测器。可扩展检测器FID、TCD、FPD、NPD、ECD、ZD、AID、EPD、PID、PDHID等任选。

• Ø带有温度补偿的APC控制器具有更高的重现性和稳定性，操作方便高效；

• Ø安全保护功能：具有气路故障自动保护、超温保护、断气保护、熄火自动重燃等功能。

部件介绍

1）双级纯化器系统（PDHID气路纯化器配置）：

前级纯化+内置纯化（非吸附性纯化器，对于载气中 H2、O2、N2、 CH4、CO、CO2杂质纯化后浓度低于10ppb）

纯化器Valco 氦气（HP）纯化器的纯化基质是一种无挥发性的吸附性合金，吸附剂粒子表面有一层 氧化膜需通过加热活化，活化过程必须在真空或惰性气体环境下完成，这样可允许氦气在其间自由扩散， 防止氧气纯化层的形成，又可以进行杂质气体的吸 附。HP 的吸附剂材料具有良好的热稳定性，包括两 个温度控制范围。 纯化气体：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn

操作压力：1000Psi

去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、 CF4 等

残留浓度：≤10ppb

2）多柱箱的设置

对大部分的应用使用独立控温的微柱箱。一个微柱箱最多可以安装2 根色谱柱，而微柱箱的装卸是非常简单 的，只要把固定的4个螺丝取出或固定就可以了。微柱箱是GC独立控制的，所以温控效果会非常好，柱箱和柱箱直接没有干扰。微柱箱的控温效果要明显优于大柱箱的效果

3）气相色谱仪进样阀

VALCO 吹扫型转子阀

吹扫型十通/六通阀，阀平面始终处于载气的氛围中，切换时无空气渗漏而混入样品之中。

无死体积取样阀，将取样过程对分析的影响降至低水平，取样时采用带吹扫保护的进样方式，有效的避免了空气混入的问题。

2.技术指标

1. a.操作显示：7寸彩色液晶触摸屏

2. b.温控区域：8路

3. c.柱箱温控范围：室温以上4℃～450℃，控温精度≤±0.01℃，增量1℃。

4. d.程序升温阶数：16阶

5. e.程升速率：0.1～80℃/min

6. f.降温速度：450℃降至50℃ ≤7分钟。

7. g.外部事件：8路；

8. h.进样器种类：填充柱进样、毛细管进样、六通阀气体进样、自动进样器

9. i.启动进样：手动、自动可选

10. j.通信接口：以太网：IEEE802.3

11. k.放电离子化检测器（PDHID）

脉冲放电氦离子化检测器(PDHID)是一种灵敏度高的通用型检测器，对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应，特别适合高纯气体的分析。

脉冲放电模式；

基线噪声≤0.1mV；

基线漂移≤0.5mV/30min。

检测限（以甲烷计）：≤5 ppb或≤1.0×10^-10g/ml。