1. 石英腔体尺寸：150X120MM

2. 样品尺寸：70mm

3. 溅射尺寸：50mm

4. 最大真空度：5pa

5. 可用气体：氢气、氮气等惰性气体。

6. 最大溅射速度：8nm/min

7. 功率：200W

8. 尺寸：360(W)X310(D)X150mm(H)

9. 带泵和1个靶材（需要其他材质的靶材联系客服）