HYPER QV WLI系列 非接触3D测量机
HYPER QV WLI配备白光干涉仪的复合型高精度3D测量系统。
可根据WLI光学系统获取的3D数据进行表面形状分析/三维粗糙度分析。还可根据3D数据进行指定高度的尺寸测量和截面形状测量。
产品型号
| 型号 | 测量范围：X轴最大（mm） | Y轴最大（mm | Z轴最大（mm） |
Hyper QVWLI 302 | 300 | 200 | 190 |
Hyper QVWLI 404 | 400 | 400 | 240 |
Hyper QVWLI 606 | 600 | 650 | 220 |
技术参数
名称 | Hyper QVWLI 302 | Hyper QVWLI 404 | Hyper QVWLI 606 |
标准机型 | QVW-H302P1L-D | QVW-H404P1L-D | QVW-H606P1L-D |
测量范围 [mm] | 影像测量 | 300×200×190 | 400×400×240 | 600×650×220 |
WLI 测量 | 215×200×190 | 315×400×240 | 515×650×220 |
观察装置※1 | 程控电动转塔 1X - 2X - 6X |
照明装置 | 透射照明 | 白色LED |
垂直反射照明 | 白色LED |
程控环形照明 | 白色LED |
WLI 光学测头 | 卤素 |
光栅尺分辨力 [µm] | 0.01 |
影像测量精度[µm]※2 | E1X,E1Y | （0.8+2L/1000） |
E1Z | （1.5+2L/1000） |
E2XY | （1.4+3L/1000） |
精度保证光学条件 | 2.5倍物镜（QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X）＋中倍镜筒透镜 |
WLI Z 轴最大测量范围 | QVWLI A-5X, QVWLI A-10X: 6.3 mm, QVWLI A-25X: 3.2 mm, QVWLI A-50X: 1.0 mm |
WLI Z 轴重复精度 [µm]※2 | 2σ ≤0.08 |
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