CS-H5000CNC CNC表面形状测量仪
CS-5000CNC是高精度测针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。
X1轴和Z2轴的最大驱动速度分别达40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。X1轴和Z1轴上装有三丰高分辨力的线性编码器，从而可以实现高分辨力的轮廓/形状测量、表面粗糙度的批量测量。
Z1轴检出器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。
CS-5000CNC带有α轴可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。
可选外部控制功能（外部I/O），与PLC实现双向通信（RS-232C）。
产品型号
| 型号 | X1轴测量范围(mm) | X1轴分辨力(mm) | |
| CS-H5000CNC | 200 | 0.005 | ±(0.16+0.001L)μm |
技术参数
型号 | CS-5000CNC | CS-H5000CNC |
X1轴 | 测量范围 | 200mm |
分辨力 | 0.005µm |
长度基准 | 透射型线性编码器 |
驱动速度 | CNC模式 | 最大40mm/s |
控制手柄模式 | 0 - 40mm/s |
测量速度 | 0.02, 0.05, 0.1, 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0mm/s (形状/轮廓) |
测量方向 | 向前/向后 |
直线度 | 使用标准测针 | (0.1+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm) | (0.05+0.0003L)µm L: 驱动长度 (mm) |
使用二倍长测针 | (0.2+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm) | (0.1+0.0015L)µm L: 驱动长度 (mm) |
示值误差 (20ºC) | ±(0.3+0.002L)µm L: 驱动长度 (mm) | ±(0.16+0.001L)µm L: 驱动长度 (mm) |
α轴 | 倾角范围 | -45º(CCW), +10º(CW) | — |
Z1轴(检出器) | 测量范围 | 使用标准测针 | 12mm |
使用二倍长测针 | 24mm |
分辨力 | 使用标准测针 | 0.0008µm |
使用二倍长测针 | 0.0016µm |
测针针尖上下移动 | 弧形移动 |
长度基准 | 透射型线性编码器 |
示值误差 (20ºC) | ±(0.3+|0.02H|)µm H: 测量高度 (mm) | ±(0.07+|0.02H|)µm H: 测量高度 (mm) |
测力 | 使用标准测针 | 4mN (固定) |
使用二倍长测针 | 0.75mN (固定) |
追踪角度 | 向上: 60º, 向下: 60º, (根据表面粗糙度) |
测针针尖形状 | 标准测针 | 尖端角度: 40º, 针尖半径: 5µm, 金刚石针尖 |
标准球头测针 | 球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 |
2倍测针 | 尖端角度: 40º, 针尖半径: 5µm, 金刚石针尖 |
2倍测针 | — | 尖端角度: 60º, 针尖半径: 2µm, 金刚石针尖 |
2倍球头测针 | 球头针尖半径: 0.25mm, 蓝宝石 |
测量面方向 | 向下 |
Z2轴(立柱) | 行程范围 | Z2轴 (立柱, S型) | 300mm |
Z2轴 (立柱, H型) | 500mm |
分辨力 | 0.05µm |
长度基准 | 反射型线性编码器 |
驱动速度 | CNC模式 | 最大200mm/s |
控制手柄模式 | 0 - 50mm/s |
基座装置 | 基座尺寸 (W×D) | 750×600mm |
基座材料 | 辉长岩 |
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