VPC100 等离子表面处理系统
等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固、液、气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。VPC100等离子表面处理系统就是通过利用等离子体的活性组分的性质来处理塑胶工件,金属基工件,陶瓷、玻璃等工件表面,从而实现清洁、改性等目的。
产品特点
应用领域
半导体行业
晶圆/基板的清洗,引框线表面活化,
芯片和基板间改变表面活性以减少分层。
橡胶、塑料
通过表面处理,在材料表面形成一个活性层,
这样橡胶、塑料就能够进行印刷、粘合、涂覆等操作。
汽车行业
电子行业
使手机外壳、耳机听筒、硬盘塑料件等
增加其表面活性,提高粘接效果。
医疗行业
技术参数
| 型号 | VPC100 |
技术参数 | 腔体材质 | 不锈钢 |
容积 | 10L |
电极板 | 水平电极板2层 |
电极 | 专用铝电极,上下可调结构设计 |
单次处理时间 | 工艺不同,处理时间不同,表面活化改性5-10分钟内 |
工作真空度 | 20-60Pa |
真空泵极限压力 | 0.5Pa(空载测试) |
抽真空时间 | ≤40秒(空载测试) |
破真空时间 | ≤20秒 |
等离子发生器 | 采用13.56MHz射频电源,功率0-300W可调, 射频电源和阻抗器模块化设计 |
供气方式 | 电磁阀式 |
流量计调节范围 | 0.3-3L/min |
操作方式 | 人工取放工件,一键启动自动控制 |
额定功率 | 1kw |
机台供电 | AC-220V |
机台总重 | 约75kg |
主要配件 | 真空泵、高纯氩气 |