产品参数：
          > 手动旋钮控制 
        > 基片尺寸φ200-φ600mm圆片、最大500x500mm2方片 
        > 转速：200-2000转/分 
        > 显示转速稳定度：±1，胶的均匀性±5% 
        > 匀胶阶段：2段 
        > 匀胶时间：3-60s可调 
        > 电机功率：320W 
        > 仪器尺寸：980mmx855mmx855mm 
        > 适用材料：硅片、玻璃、石英、金属GaAs、GaN、InP等多种材料