特点：

◆ 超低的超声空化效应，对工件表面不会造成损伤

◆ 石英导波技术，有效保障兆声换能器的使用寿命

◆ 超高清洗精度，可去除工件表面200nm的粉尘颗粒

◆ 选用高防腐材质，可用于各种酸碱及有机溶剂

◆ 数字化高频大功率兆声发生器驱动

基本参数：

◆ 输出功率600-1000W，连续可调

◆ 功率控制精度0.1W

◆ 频率1MHz

◆ 超高清洗精度，可去除工件表面200nm的粉尘颗粒

适用应用领域：

◆ CMP化学机械抛光

◆ 光学镜头清洗

◆ 微电子行业精密清洗

◆ 显示屏清洗

◆ 掩膜清洗

◆ 键合前清洗

◆ 去胶

◆ 显影

◆ Lift-off金属剥离

◆ 湿法刻蚀

设备可选配件：

◆ 兆声振板：1MHz

◆ 振板材质：316L不锈钢、石英、蓝宝石

◆ 振板面积：可定制

◆ 清洗槽：可定制