三路质子流量控制器主要用于实验室气体流量测试,并按比例混合气体,为实验室管式炉或手套箱等其他特定容器营造特定要求的气氛环境.

该气体流量控制器可以外接3种气体,采用质子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.三路质子气体配比器气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.

应用范围

1.半导体制造行业中气体流量控制

2.各种真空镀膜设备

3.材料表面处理

4.气体燃烧控制

5.混和配气系统

6.环境检测与分析设备

7.分析仪器的气体流量计量与控制 8.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所

技术参数