SAT510真空等离子清洗机（Plasma）是一种利用低压（真空）环境下产生的等离子体，对物体表面进行清洗、活化、蚀刻、涂覆等处理的干法式高科技设备。它彻底颠覆了传统湿法化学清洗的方式，是一种高效、环保、无损伤的表面处理解决方案。

　　主要特点：

　　1.实时检测和显示真空度,使得机器在智能控制下有了可靠的依据.

　　2.真空值可自由设定,(范围:10—60帕)为外加气体提供了可靠的辉光启动环境,为辉光纯度提供了有利的保障,保证了实验效果的准确性和可靠性.

　　3.真空腔体采用铰链侧开门结构,带有观察窗,材料为6061材质.

　　4.真空腔体、管路、阀体全部为不锈钢材料.

　　5.电容式（CCP）激发,实验效果稳定,均匀可靠,电极板置于样品仓内顶部悬挂.

　　6.触摸屏+内置计算机显示控制,手动自动两种模式任意切换.

　　7.程序化设计，预先编辑好程序，仪器自动完成实验.

　　8.利用气体电离后产生的等离子体的反应活性与材料表面发生的物理或者化学反应，使材料表面成分、组成和结构发生变化，并能得到某些特定的基团。

　　9.无需任何耗材，使用成本低，无需特殊进行维护，在日常使用中保持仪器清洁即可。

　　主要应用：1.表面清洁2.表面活化3.键合4.去胶5.金属还原6.简单刻蚀7.去除表面有机物8.疏水实验9.沉积实验10.形成新的基团11.镀膜前处理等

　　技术规格参数：

　　核心优势：

　　1.环保安全：不使用有毒有害化学溶剂，无废水排放，是“绿色清洗”技术。

　　2.处理均匀：等离子体能够无死角地包裹工件复杂表面，处理均匀性好。

　　3.处理精度高：作用深度仅在纳米到微米级，不损伤材料本体性能。

　　4.多功能性：一台设备通过更换气体和参数，可实现清洗、活化、蚀刻等多种功能。

　　5.高效可控：过程全自动化，参数可精确控制，重复性好，适合大规模生产。