FS-70系列 半导体检测用显微镜单元
带目镜观察的小巧型显微镜单元。
适用于采取YAG激光(近红外、可见、近紫外、紫外)进行微细加工*。
无法保证配有激光系统产品的性能及安全性。
支持红外光学系统。
晶体硅的内部观察,红外光谱特征分析等。
另外需要红外光源和红外像机。
拥有支持明视场、暗视场、偏振光及微分干涉对比观察型号的产品。
内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显微镜下的高可操作性。
技术参数
标准目镜规格 | 型号 | FS70Z | — | FS70ZD | FS70L | FS70L4 |
货号 | 378-165-1 | — | 请咨询 | 378-166-1 | 378-167-1 |
可变角度目镜规格 | 型号 | — | FS70Z-TH | FS70ZD-TH | FS70L-TH | FS70L4-TH |
货号 | — | 378-165-3 | 请咨询 | 378-166-3 | 378-167-3 |
| 正立正像 |
观察成像 | BF (明视场) | ● | ● | | ● | ● |
BD (明/暗视场) | | | ● | | |
偏振光 | ● | ● | ● | ● | ● |
微分干涉对比(DIC) | ● | ● | ● | | |
光学镜筒类型 | 10X(视场数24)、20X(视场数12) |
镜筒 | 三眼镜筒 | 视场数 | 24 mm |
可调瞳距 | 西登托夫型,瞳距调节范围 51 ~ 76mm |
俯角 | 0º - 20º (仅限-TH),眼点移动量约114mm |
光路 | 固定式 (目镜/TV=50% / 50%) | 切换式 (目镜/管径=100%/ 0% : 0% / 100%) | 固定式*3 (目镜 / TV=50% / 50%) | 切换式 (目镜 / 管径=100% / 0% : 0% / 100%) |
相机接口 | C-mount (使用适配器B*1) 使用适配器B齐焦调整 | C-mount (齐焦调整机构) | C-mount插座(带绿色滤光片切换功能)(齐焦调整机构) |
防护滤光片 | — | 内置激光滤光片 |
成像(镜筒)透镜 | 内置1X - 2X变焦(可见光校正) | 内置1×(近红外-可见-近紫外校正) | 内置1×(可见光/紫外校正) |
激光接口 | 使用激光 | — | 放大倍数:1X 波长:355/532/1064 nm | 放大倍数:1X 波长:266/532 nm |
相机接口 | YAG激光振荡器 (基波,二次/三次谐波)可安装 | YAG激光振荡器 (二次 /四次谐波)可安装 |
对焦部 | 粗微动 | 单轴粗动(粗动:3.8mm/1转,微动:0.1mm/1转) |
移动量 | 50mm、左右手柄 |
反射照明光学系统 | 用于明视场的反射照明(科勒照明,带孔径光阑) |
照明装置(选件) | 12V、100W光纤照明装置(No.378-700DC)/15V、150W光纤照明装置(No.176-316DC)全无级调光,光导长度=1500mm |
转塔(必选) | 调心齐焦手动转塔4孔/调心电动转塔5孔 | 手动转塔4孔/电动转塔4孔 | 调心齐焦手动转塔4孔/调心电动转塔5孔 |
物镜(必选) | 观察用 | M Plan Apo M Plan Apo HR M Plan Apo SL G Plan Apo | BD Plan Apo | M Plan Apo M Plan Apo HR M Plan Apo SLG Plan Apo |
激光加工用 | — | NIR 系列 NUV 系列 * 从激光振荡器 使用的波长中选择 | UV 系列 |
承重*2 | 约14 kg (-TH: 13.2 kg) | 约13.9 kg (-TH: 13.1 kg) |
主机质量 | 约6.6 kg (-TH: 7.4 kg) | 约6.7 kg (-TH: 7.5 kg) |