LEGEX系列 超高精度三坐标测量机
LEGEX系列是初项达0.28μm的高精度CNC三坐标测量机，对所有可能产生误差的因素进行严格分析并排除或****地降低其影响。
本体底座部分严选材料，采用密封结构以实现高刚性、高衰减性。采用FEM结构解析模拟进行彻底的应力分析，保证了几何运动精度，使负荷及其它变量波动造成的误差降至最小。此外，还引入了各种技术来实现超高精度，如驱动单元的结构和振动对策等。
用于位置检测的长度测量单元配备了超高精度测量单元（自社开发），该单元采用热膨胀系数为≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射线性编码器的组合，具有极高的位置检测能力，可实现超高精度的机器控制功能。此外，提供丰富的选件，包括触发式和非触发式测头，数据处理部等支持各种工件轻松实现高精度测量。
产品型号
型号 | 测显范围: X铀最大(mm) | Y轴最大(mm) | Z轴最大(mm) |
LEGEX 574系列 | ～500 | ～700 | ～450 |
LEGEX 700系列 | ～700 | ～700 | ～600 |
LEGEX900系列 | -900 | ～1000 | ～600 |
LEGEX 1200系列 | ～1200 | ～1200 | ～800 |
技术参数
货号 项目 | LEGEX 574 | LEGEX 774 | LEGEX 776 | LEGEX 9106 |
测量范围 | X轴 | 500mm | 700mm | 900mm |
Y轴 | 700mm | 1000mm |
Z轴 | 450mm | 600mm |
测长单元 | 超高性能线性编码器 |
最大驱动速度 | 200mm/s |
最大驱动加速度 | 980mm/s2 |
分辨力 | 0.00001mm |
引导方式 | 气浮轴承 |
测量工作台 | 材质 | 铸铁* |
大小 | 550×750mm | 750×750mm | 950×1050mm |
螺丝孔尺寸 | M8×1.25mm (用于工件固定) |
测量工件 | 最大高度 | 695mm | 860mm |
最大质量 | 250kg | 500kg | 800kg |
机械重量 (包含除振台，控制器/不包含工件) | 3500kg | 5000kg | 5100kg | 6500kg |
空气使用条件 | 使用空气气压 | 0.5MPa |
空气消耗量 | 120L/min (标准状态下) (气源，160L/min以上) |
符号 项目 | LEGEX12128 |
测量范围 | X轴 | 1200mm |
Y轴 | 1200mm |
Z轴 | 800mm |
分辨力 | 0.00001mm |
引导方式 | 气浮轴承 |
长度测量误差(使用测头MPP310Q) E0,MPE | (0.6 + 1.5L/1000)µm |
测量工件 | 最大高度 | 1056mm |
最大质量 | 1000kg |
机械重量 (包含除振台，控制器/不包含工件) | 10500kg |
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