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| 品牌: | Transene | | 产地: | 美国 | | 产品别名: | ITO etchant TE-100
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产品介绍 | 氧化锡/铟锡蚀刻剂TE100 | 说明 氧化锡/氧化铟锡蚀刻剂TE—100是微电子产品氧化锡和氧化铟锡（ITO）膜层的选择蚀刻剂。它能有效地蚀刻沉积在陶瓷、介电质、半导体和许多金属上的ITO和氧化锡膜。TE—100蚀刻线清晰、蚀刻速率可控。与阴性和阳性光刻胶具有广泛的匹配性。TE—100与镍、铜、镍铬和铝不匹配。 性质 外观 | 深琥珀色 | 蚀刻速率，25℃ | 15～20 Å/秒 | 操作温度 | 40～50℃ | 冲洗 | 去离子水 | 贮存 | 20～25℃ | 有效期 | 在15～25℃，1年 |
应用 氧化铟锡膜在制备时，**先沉积一层铟—锡膜。然后将铟-—锡膜用氧等离子体氧化，或在较高温度下在一个氧化氛中氧化。当进行蚀刻时，铟以三价水络合物[In(H2O)6]3+的形式溶解，而锡则生成[SnCl6]2－阴离子。 |
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