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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
EZ4匀胶机
EZ4匀胶机图片
仪器类型:匀胶机
产品介绍

一、小巧型匀胶机EZ4-S产品性能介绍:

1、外型小巧,适给手套箱内操作;

2、耐腐蚀透明盖,恒定扭矩定位铰链;

3、一体开模内腔,易拆卸清洗,方便更换;

4、液晶文本显示,彩色面膜按键,简单易用;

5、加减速度可控可调,可设置多步程序运行控制;

6、直流无刷电机;

7、最大推荐旋涂尺寸: 4寸圆形底物;

8、铝合金外壳(EZ4-S) ,耐腐蚀PP外壳可选(EZ4-S-PP);


二、小巧型匀胶机EZ4-S技术参数:

1、转速范围: 100-9999rpm

2、转速分辨率:1rpm

3、加速度可调范围:100-9999rpm/s

4、最大单步步长:3000S

5、时间分辨率:1s

6、单步或多步运行可选,最多可设置5组5步程序;

7、宽电压适用:AC100-230V输入,中英文可选;

8、标配10mm、25mm、55mm三种规格真空载物盘;

9、外型尺寸:210mm(W)* 265mm(D)*213mm(H)

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