免费会员第2
访问量: 9674   网址: www.cnreagent.com/show1049983    在线留言 
产品搜索
热分析仪器 >> 其它热分析仪
快速退火炉
快速退火炉图片
型号: RTP-3-04
品牌: 嘉仪通
索取资料及报价
型号:RTP-3-04
品牌:嘉仪通
产品别名:真空快速退火炉
仪器产地:国产热分析仪
产品介绍

嘉仪通RTP4吋快速退火炉采用红外辐射加热技术,可实现大尺寸样品(4英寸样品)快速升温和降温,同时搭配超高精度温度控制系统,可达到**的温场均匀性,对材料的快速热处理(RTP)快速退火(RTA)快速热氧化(RTO)快速热氮化(RTN)金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。


型号RTP-3-04系列快速退火炉
温度1200℃
升温速率

150℃/s

降温速度

1200℃→400℃:

裸片600℃/min(双石墨盘130℃/min)

400℃→100℃:

裸片20℃/min(双石墨盘10℃/min);

(氮气吹扫)

控温精度

±0.5℃(RT-1000℃)

±1℃(1000-1200℃)

温场均匀性

≤1.5% 设定温度

≤3% 设定温度

≤5% 设定温度

腔体冷却独立水冷
衬底冷却氮气吹扫
气体流量1~4路MFC控制
压力控制~1bar,±100Pa
样品尺寸4英寸(直径100mm)




相关产品
我要咨询 关闭
  •      
  • 姓名* 
  • 电话* 
  • 单位* 
  • email 
  • 留言内容*
  • 验证码*  
  • 让更多商家关注