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晶化快速退火炉
晶化快速退火炉图片
型号: RTP-3-S01
品牌: 嘉仪通
交货期: 一个月
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型号:RTP-3-S01
品牌:嘉仪通
交货期:一个月
产品别名:RTP-3-01快速退火炉
产地类别:国产干燥设备
产品介绍

嘉仪通晶化快速退火炉RTP-3-S01系列采用红外辐射加热技术,可实现1吋(选配2吋)样品快速升温和降温,同时搭配超高精度温度控制系统,可达到**的温场均匀性,对薄膜材料进行晶化快速退火处理提高薄膜材料的均匀性及稳定性

 

晶化快速退火炉产品特点

快速加热和降温: 最高可控升温速率可达50 ℃/s,特定条件下可以达到100 ℃/s。冷壁水冷设计能够达到较大的降温速率,特定条件下可达30 ℃/s。

 精确控温: 采用工业级温控器进行PID精确控温,目标温度与设定温度曲线一致性高,可实现室温至1200 ℃的温度精确控制。

 适应多种工艺环境: 满足多种工艺气氛下的热处理(氮气、氩气等)。同时,通过选配真空泵,可以在真空条件下进行退火,最高真空度可达10-3Pa。

 配备观察窗口: 通过观察窗口,可以实时观察热处理过程中的样品变化。同时,可以结合相关测试方法进行原位测试分析。

 超高安全系数: 采用炉壁超温报警系统和冷却水流量报警系统,全方位保障仪器使用安全。

 国产退火炉:拥有自主研发技术和制造能力,能快速反应客户售后需求。

 

晶化快速退火炉技术参数:

 

型号

RTP-3-S01系列

最高温度

1200℃

最大升温速率

50℃/s

温度均匀性

≦1%设定温度

温度控制

选用工业级温控器,控温精度±0.1℃

温度传感器

标准K型热电偶

最大降温速率

1200℃→400℃,200℃/min

400℃→100℃,20℃/min

(自然冷却)

最大样品尺寸

W20 x L20 x T2 (mm)

主机尺寸

W420X L320X H220 (mm)

主机重量

20.5kg

 

晶化快速退火炉客户案例:

 

清华大学使用嘉仪通1吋晶化快速退火炉HfO2薄膜做晶化退火,得到晶相一致晶粒较小的晶体提高薄膜材料的均匀性及稳定性


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