英微米晶圆表面微粒分析仪U-III该产品专为高洁净度制造场景设计，采用革命性激光传感技术与智能采样系统，可精准检测0.1微米级表面颗粒污染，助力半导体、液晶面板及精密电子行业实现更高良率与可靠性。 核心技术创新 纳米级检测能力 U-III搭载HeNe激光传感器，分辨率达0.1微米，支持0.1-5.0微米颗粒粒径的六通道分类统计（0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm），覆盖半导体制造中对超细微粒的严苛检测需求。 静态采样模式：通过优化气流控制，减少测量误差，提升数据稳定性。 智能化设计与操作体验 7英寸高分辨率触控屏：支持实时数据可视化与交互操作，简化流程。 双电池热插拔系统‌：支持连续生产场景下的不间断作业，电池更换无需停机。 USB数据接口与软件升级‌：便捷导出检测报告，并可通过固件更新持续优化性能。 行业应用与效益 提升制造效率 减少50%自净时间‌：通过量化表面污染数据，缩短设备维护周期（PM周期），提升产线吞吐量。 延长MTBC（平均无故障周期）：结合颗粒控制策略，关键设备可靠性提升4倍以上。 覆盖高洁净场景 半导体制造：晶圆表面、机台内腔等关键区域的洁净度验证。 精密光学与电子：液晶面板、光学镜片组件、医疗器械的表面污染控制。 符合国际标准 产品严格遵循ISO-14644-9表面粒子控制规范，为全球半导体厂商提供标准化检测工具。