SAT 系列旋涂仪（匀胶机）

应用领域 

广泛应用于半导体,集成电路，材料，微光学，生命科学，凝聚态物理，化学等科学研究与生产。可用于硅片/载玻片/化合物镜片/ITO/导电玻璃等各种基底材料的表面处理和涂覆。

主要特点

1.采用闭环控制伺服电机，数字式增速信号反馈，速匀准确，寿命长，保证匀胶均匀。

   2.触摸屏控制和触摸屏控制，智能程序化可编程操控显示，可储存编辑多个程序，可选择一段程序或者多段阶梯式程序运行。

3.内置水平校准装置，保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂。

4.多重安全保护双重安全上盖，保证实验人员安全。

5.样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护,有效降低电机进胶风险.

6.一机两用，根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。

7.符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计，取放样品更方便。

8.旋涂腔体及上盖采用耐酸碱PP材料,保证仪器在苛刻条件下能正常运行.

9.上下双腔体设计，较大的上腔体便于擦拭去除胶液，锥形下腔体结构设计便于收集胶液，并带废胶收集装置。

10适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等多种材料。

技术参数