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光学加工 >> 等离子体表面处理仪
SAT8020生产型等离子清洗机
SAT8020生产型等离子清洗机图片
型号: SAT8020
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型号:SAT8020
仪器产地:国产等离子体表面处理仪
产品介绍

SAT8020生产型等离子清洗机(Plasma)

  应用领域:适用于材料科学、光学、光电子学、生命科学、电子学、生物医学、高分子科学、半导体、微观流体学等领域.

  主要实验应用:1.表面清洁2.表面活化3.键合4.去胶5.金属还原6.简单刻蚀7.去除表面有机物8.疏水实验9.沉积实验10.形成新的基团11.镀膜前处理等

  主要特点:

  1.PLC工控机控制整个清洗过程,全自动进行。

  2.采用7寸触摸屏操作界面,实时工作参数状态显示。

  3.手动、自动两种工作模式。

  4.数字流量计(MFC)控制标配双路气体输送系统,可选多气路气体输送系统。

  5.处理高效均匀,效率高,工艺重复性好。

  6.合理的结构设计,设备占用空间小。

  7.可处理各种材质、形状、尺寸样品。

  8.样品处理温度低,无热损伤和热氧化。

  9使用成本低、耗损小,产品性能稳定,安装与维护简便方便,安全保护,舱门打开,自动关闭电源

  技术规格参数

型号:SAT 8020


※不锈钢腔体尺寸

W420xH400xD500mm

真空腔体容积

约80升

载物托盘有效尺寸

W400xD460mm

电极板分布

六层,层高30mm

※射频频率

13.56MHz   

※射频功率

最高600W,0到600W可调,精度:1瓦,

辉光放电时间设定

1秒到99分59秒

控制系统

7寸彩色触摸屏+PLC工控机

气路设置

内置两路(MFC)控制

工作气体稳定时间

气体稳定时间:一分钟

激发方式

电容式(CCP)

工作气体

空气氮气氩气氮氢混合气氩氦混合气等均可

进气压力

空气常压,连接钢瓶:0.1-0.2Mpa

真空泵

抽速48m3/h

电  源

AC380V   50-60Hz

整机功率(含泵)

≤3.0KW

整机尺寸(宽*深*高)

L905xW845XH1940mm

重  量(约)

465kg


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